कॉम्पैक्ट/डेस्कटॉप प्लाज्मा magnetron sputtering coater आरएफ डीसी magnetron sputter प्रणाली

इनपुट पावर

220vv-50/60hz, एकल चरण

2000w (पंप सहित)

स्रोत शक्ति

दो स्पटरिंग पावर स्रोत एक नियंत्रण बॉक्स में एकीकृत हैं

डीसी स्रोत: कोटिंग धातु सामग्री के लिए 500 डब्ल्यू

Rf स्रोत: 600w गैर-धातु सामग्री (केंद्र) के लिए स्वचालित के साथ डब्ल्यू

कॉम्पैक्ट 300 आरएफ स्रोत अतिरिक्त लागत पर उपलब्ध है।

मैग्नेट्रॉन स्ट्रोन सिर

दो 2 "मैग्नेट्रोन पानी शीतलन जैकेट के साथ शीर्ष शामिल हैं

नो-कंडक्टिव सामग्री के लिए आरएफ बिजली आपूर्ति से जुड़ा हुआ है

एक और कोटिंग धातु सामग्री के लिए डीसी स्पटरिंग पावर स्रोत से जुड़ा है।

लक्ष्य आकार की आवश्यकताः 2 "व्यास

मोटाई सीमाः धातु और गैर-प्रवाहकीय लक्ष्यों के लिए 0.1 - 5 मिमी

डेमो परीक्षण के लिए एक स्टेनलेस स्टील और एक al2o3 सिरेमिक लक्ष्य शामिल हैं

सिर का पानी ठंडा-10 ml/min पानी के प्रवाह की आवश्यकता, और एक 16 ml/min डिजिटल रूप से नियंत्रित

जल चिलर को चुंबकीय स्पटरिंग हेड्स दोनों को ठंडा करने के लिए शामिल किया जाता है।

अनुकूलित कोटेटर: दो डीसी सिर के बिना, rf स्पुटरिंग, आरएफ सिर, डी. सी. स्पटरिंग के बिना, 3 rf

अनुरोध पर उपलब्ध है

निर्वात कक्ष

वैक्यूम चैम्बर 300 मिमी एक्स 300 मिमी ऊंचाई, स्टेनलेस स्टील से बना

अवलोकन विंडो: 100 मिमी व्यास

एयर स्प्रिंग गेम के साथ शीर्ष पर हिंग टाइप कवर लक्षित विनिमय आसान बनाता है

नमूना धारक

नमूना धारक का आकारः 140 मिमी. 4 "वेफर मैक्स

(आपकी आवश्यकता के रूप में भी डिज़ाइन किया जा सकता है)

नमूना धारक रोटेशन गति समायोज्य है: वर्दी कोटिंग के लिए 1 - 20 आरपीएम

धारक का तापमान सटीकता +/- 1.0 के साथ rt से 500 तक समायोज्य है

गैस प्रवाह नियंत्रण

दो परिशुद्धता डिजिटल mfc (द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक) दो प्रकार की गैसों की अनुमति देने के लिए स्थापित हैं

भरा हुआ

प्रवाह दर: 200 ml/min Max.

प्रवाह दर 6 "टच स्क्रीन नियंत्रण पैनल पर समायोज्य है

वैक्यूम पंप स्टेशन

उच्च गति टर्बो वैक्यूम पंप सिस्टम (जर्मनी में बनाया गया) सीधे वैक्यूम पर स्थापित है

अधिकतम निर्वात स्तर के लिए कक्ष

भारी शुल्क दोहरी चरण यांत्रिक पंप गति के लिए टर्बो पंप से जुड़ा हुआ है।

मोबाइल पंप स्टेशन शामिल है और कॉम्पैक्ट स्पुटरिंग कोटर को स्टेशन के शीर्ष पर रखा जा सकता है।

अधिकतम वैक्यूम स्तरः 10 ^-6 टोर के साथ

मोटाई मॉनिटर

कोटिंग मोटाई की निगरानी के लिए एक सटीक क्वार्ट्ज मोटाई सेंसर कक्ष में बनाया गया है

सटीकता 0.10 साथ

कक्ष के बाहर नेतृत्व वाली डिस्प्ले इकाई हो सकती हैः 5 पीसी क्वार्ट्ज सेंसर (उपभोग्य) शामिल हैं

डेटा बेस के अनुसार कवर की जाने वाली इनपुट सामग्री

कुल मोटाई लेपित और कोटिंग गति प्रदर्शित करें

पानी की जरूरत है

समग्र आयाम

L1300mm × w660mm x h1200mm

शुद्ध वजन

160 किलो

वारंटी

आजीवन समर्थन के साथ एक वर्ष की सीमित वारंटी

आवेदन पत्र

कक्ष से ऑक्सीजन हटाने के लिए, सुझाव दें कि आप 5% हाइट्रोजेन + 95% नाइट्रोजन का उपयोग करें

कबीले कक्ष 2-3 बार, जो ऑक्सीजन को 10 पीपीएम से कम कर सकता है

प्लाज्मा स्ट्रोटरिंग के लिए 5 एन शुद्धता आर्गन गैस का उपयोग करें। हालांकि 5n शुद्धता, आमतौर पर

10- 100 पीपीएम ऑक्सीजन और h2o